洗浄工程をハードとソフトの両面から構築し、
品質・性能・生産性に優れた
製品でお客様をサポートします。
スピードファム クリーン システムは、
変化の速い現代においても、
つねにお客様のニーズにマッチした
洗浄プロセスの実現に挑戦し続けてまいります。 |
「ものづくり」工程において、
最も重要な課題が「洗浄」です。
わたしたちは、卓越した洗浄テクノロジーをもって
信頼性の高い洗浄装置を開発し、
最先端技術で精密洗浄に寄与してまいります。 |
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●エレクトロニクス関連洗浄装置
●ディスクドライブ部品洗浄装置
●酸化物ウェーハ洗浄装置
●半導体製造装置用各種部材洗浄装置
●塗布装置・硬化装置
●各種消耗副資材 |
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